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仪器设备
检测仪器

椭偏仪

作者: 来源: 日期:2019-07-17 10:53:55 人气:0 

原理:

将入射光(偏振光)分解为EpEs,两束光在材料中传播相位、强度改变不同。特定的偏振光经过材料表面反射后,可量测到反射光信号,包括强度、偏振状况。根据光偏振、强度的改变,可以确定膜材料厚度和折光系数。

功能:

用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。