原理：
将入射光（偏振光）分解为Ep、Es，两束光在材料中传播相位、强度改变不同。特定的偏振光经过材料表面反射后，可量测到反射光信号，包括强度、偏振状况。根据光偏振、强度的改变，可以确定膜材料厚度和折光系数。
功能：
用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。
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原理：
将入射光（偏振光）分解为Ep、Es，两束光在材料中传播相位、强度改变不同。特定的偏振光经过材料表面反射后，可量测到反射光信号，包括强度、偏振状况。根据光偏振、强度的改变，可以确定膜材料厚度和折光系数。
功能：
用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。
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